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牛尾电机发布用于LED的200mm晶圆曝光设备及激光剥离设备ag88环亚

2018-10-08 08:44      点击:

  牛尾电机发布用于LED的200mm晶圆曝光设备及激光剥离设备

  日本牛尾电机宣告已开端供货LED用曝光设备,并成功开发出了LED用激光剥离设备。曝光设备UX4-LEDs FFPL 200是全球首款(牛尾电机)支撑200mm晶圆的产品。而激光剥离设备UX4-LEDs LLO150用于从蓝宝石(Al2O3)基板上剥离氮化镓(GaN)膜,完成蓝宝石基板的重复使用。

关于曝光设备,牛尾电机曾于2010年11月发布了支撑150mm晶圆的设备,日本、韩国、ag88环亚娱乐手机登录,台湾以及中国大陆的大型LED厂商已应用于量产线。此次的设备沿用了150mm晶圆设备的渠道,一起装备了支撑200mm晶圆的光学系统。因为采用了全域等倍曝光方法,因而不会像步进曝光(Step and Repeat)方法那样,吞吐量跟着晶圆直径的扩展而下降,台湾夜跑流行 LED腕带“保平安”,持续坚持了120张/小时的吞吐量。分辨率为3μm,堆叠精度方面,正不和均为1μm。可选配不和叠加功用。

激光剥离设备方面,此次装备了高安稳性激光器、在曝光设备中开发的紫外光学技能及转移技能,可以统筹高出产功率及安稳的质量。支撑150mm基板。

 

  

   LEDLED芯片晶圆